?中圖儀器激光干涉儀sj6000配置主要由SJ6000主機、EC20環(huán)境補償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構成,可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。
SJ6000激光干涉儀?測量分辨率0.01″,系統(tǒng)測量精度為±1″,基準WR50自動精密轉(zhuǎn)臺重復精度為0.2″。主要特點是小巧便攜、功能強、無線操作。具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。
SJ6000國內(nèi)激光干涉儀可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量,還可以實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、加速度、速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等。
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