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SuperViewW3大尺寸白光干涉三維形貌儀具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能，其中表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級別。是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。

SuperViewW1立式非接觸白光干涉儀雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計，既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作，可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動，同時內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動，確保儀器在車間也能正常工作。

SuperViewW1微米級白光干涉儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器國內(nèi)白光干涉儀的重建算法自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達0.1nm。測件尺寸可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸。

SuperViewW1白光干涉儀器專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量，具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點。

?中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀應(yīng)用用途多樣、設(shè)計簡潔，能夠測量不同的材質(zhì)、結(jié)構(gòu)、表面粗糙度和波度，涵蓋所有類型的表面形貌。它的多功能性能夠滿足廣泛的形貌測量應(yīng)用。

中圖儀器SuperView W1雙物鏡白光干涉儀的復(fù)合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下，只需要確定起點和終點，即可自動掃描，重建其超光滑的表面區(qū)域，不見一絲重疊縫隙。

基于白光干涉原理，中圖儀器自主研發(fā)生產(chǎn)的SuperViwe W1國產(chǎn)白光干涉儀采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點的擴展型相移算法EPSI，單一模式即可適用于從平面到弧面、超光滑到粗糙等各種表面類型，讓3D測量變得簡單。廣泛應(yīng)用于3C電子、微納米材料、微機電、光學加工、半導(dǎo)體、超精密加工等行業(yè)中精密元器件的表面粗糙度、幾何輪廓等參數(shù)的測量和分析。